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表面・形状測定、微細加工装置(Surface morphology observation, lithography)

  • 原子間力顕微鏡 原子間力顕微鏡
    (Atomic Force Microscope: AFM)
    SPA 400
  • 偏光光学顕微鏡 偏光光学顕微鏡
    (Polarized Optical Microscope: POM)
    nikon MODEL ECLIPSE E-600FN
  • 電界効果型 電子走査顕微鏡 電界効果型 電子走査顕微鏡
    (Field-Effect Scanning Electron Microscope: FE-SEM)
  • 電子線描画装置(SEMと一体型) 電子線描画装置(SEMと一体型)
    (Electron beam writer, electron beam lithography)
  • 走査プローブ顕微鏡 走査プローブ顕微鏡
    (Scanning Probe Microscope: SPM)
  • 表面プロファイラー、膜厚計 表面プロファイラー、膜厚計
    (Surface Profiler, Film Thickness Measurement)
    Dektak 150
  • 集束イオンビーム描画装置 集束イオンビーム描画装置
    (Focused Ion Beam: FIB)
    KMI-9200

時間分解、マイクロ波測定(Time-resolved study)

  • 光励起・時間分解マイクロ波伝導度装置、光過渡吸収分光装置 光励起・時間分解マイクロ波伝導度装置、光過渡吸収分光装置
    (Flash-Photolysis Time-Resolved Microwave Conductivity: FP-TRMC, Transient Absorption Sepectroscopy: TAS)
  • 有機薄膜太陽電池用 光励起・時間分解マイクロ波伝導度装置 有機薄膜太陽電池用 光励起・時間分解マイクロ波伝導度装置
    (Flash-Photolysis Time-Resolved Microwave Conductivity: FP-TRMC)
  • 電子スピン共鳴装置(時間分解オプション付き) 電子スピン共鳴装置(時間分解オプション付き)
    (Electron Spin Resonance: ESR, with time-resolved measurment)
    JES-FA200
  • ArF エキシマレーザー ArF エキシマレーザー
    (ArF Excimer Laser)
  • 光過渡電流測定、飛行時間測定 光過渡電流測定、飛行時間測定
    (Photocurrent measurment, Time-of-Flight: TOF)
  • ピコ秒蛍光寿命装置 ピコ秒蛍光寿命装置
    (Picosecond fluorescence lifetime spectroscopy)
  • 光過渡電流測定、飛行時間測定 マイクロ波誘電吸収測定
    (Microwave dielectric loss spectroscopy)

有機電子デバイス作製・評価 (Fabrication and evaluation of organic electronic devices)

  • グローブボックス(スピンコーター、封止装置、ヒーター) グローブボックス(スピンコーター(MS-A100)、封止装置、ヒーター(特HHE-11G-U))
    (Glovebox with spin-coater, sealer, heater)
  • 熱蒸着装置(Glovebox直結型) 熱蒸着装置(Glovebox直結型)
    (Thermal evaporator, connected to glove box)
    E-80
  • グローブボックス(スピンコーター、ヒーター、電子天秤) グローブボックス(スピンコーター、ヒーター、電子天秤)
    (Glovebox with spin-coater, heater, weighter)
  • 熱蒸着・RFスパッタ装置(Glovebox 直結型) 熱蒸着・RFスパッタ装置(Glovebox 直結型)
    (Thermal evaporator and RF sputter, (connected to glove box)
  • FET測定用プローバー FET測定用プローバー
    (FET prober)
  • 半導体パラメータアナライザ 半導体パラメータアナライザ
    (Semiconductor Analyzer)
    KEITHLEY 4200-SCS/F
  • ソーラーシミュレータ ソーラーシミュレータ
    (Solar Simulator)
    XES-301S+EL-100
  • 熱蒸着・RFスパッタ装置 熱蒸着・RFスパッタ装置
    (Thermal evaporator and RF sputter)
    VX-2OH
  • UV/Ozone, スピンコーター、真空オーブン UV/Ozone, スピンコーター、真空オーブン
    (UV/Ozone, spin-coater, vaccum oven)
  • 光リソグラフィー装置一式(スピンコーター、ヒーター、光照射装置) 光リソグラフィー装置一式(スピンコーター、ヒーター、光照射装置)
    (Photo Lithography)
  • 分光感度測定装置 分光感度測定装置
    (External Quantum Efficiency: EQE Spectrometer)
    SM-250KD
  • 分光感度測定装置 分光感度測定装置
    (External Quantum Efficiency: EQE Spectrometer)
    IPCE-1500
  • 磁気特性測定装置 磁気特性測定装置
    (SQUID)

基礎物性測定 合成関連装置(General measurement/synthesis)

  • サイクリックボルタンメトリー サイクリックボルタンメトリー
    (Cyclic Voltammetry: CV)
    BAS 100B
  • ドラフト ドラフト(Ventilation) x5
  • 示差走査 熱量測定 示差走査 熱量測定
    (Differential Scanning Calorimetry: DSC)
    DSC6000ベースユニット, DSC6200Sセンサーユニット
  • エバポレータ エバポレータ(Evaporator)
    N-1110V, N-1000V
  • ゲル浸透クロマトグラフィー ゲル浸透クロマトグラフィー
    (Gel Permeation Chromatography: GPC)
  • 400 MHz 核磁気共鳴装置 400 MHz 核磁気共鳴装置
    (Nuclear Magnetic Resonance: NMR)
  • 分取用高速液体クロマトグラフィー (リサイクル) 分取用高速液体クロマトグラフィー (リサイクル)
    (High performance liquid chromatography: HPLC)
    LC-9210NEXT
  • フーリエ変換型赤外分光 フーリエ変換型赤外分光
    (Fourier Tranform Infrared Spectroscopy: FT-IR)
    Nexus470
  • 光吸収スペクトル測定装置 光吸収スペクトル測定装置
    (UV-Vis-IR Absorption Spectroscopy)
    V-570 紫外可視近赤外分光光度計
    ISN-470 光度計用積分球装置
  • 真空ライン 真空ライン
    (Vacuum line)
  • 蛍光測定装置 蛍光測定装置
    (Fluorescence Spectroscopy)
    F-7200
  • 光電子収量測定装置 光電子収量測定装置
    (Photoelectron Yield Spectroscopy: PYS)

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